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株式会社日立工业设备技术

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真空装配系统(VAS系列)

VAS-1250系列 照片

为不断发展的液晶显示器生产线确定最佳工艺。

理想的ODF真空装配系统以最新开发的先进吸附系统为特点,适于价格具有竞争力的大型液晶显示面板市场。

特点/配置

先进的吸附系统。
-通过结合使用静电吸盘和真空吸盘,新的吸附系统可以对大尺寸基片进行稳定定位和真空装配。

满足最新的工艺要求。
-该系统可满足最新的工艺要求,例如制造宽视角、大屏幕、快速响应的液晶显示面板以及大尺寸、间隙很窄的电池组件所必需的高粘度液晶。

高通过量。
-过去,为20英寸的液晶显示面板注入液晶要花费20个小时或更长的时间。
→通过滴下式注入(ODF)技术,所需的时间已大大缩短到不足四分钟!

可显著降低液晶材料的用量。
-通过采用高精度液晶注入系统,液晶材料的有效使用率从50%提高到90%。

标准规格

型号 VAS500 VAS900 VAS1250
基片尺寸 360 x 460~400 x 500(mm) 680 x 880~730 x 920(mm) 1000 x 1200~1100 x 1300(mm)
基片吸附法 静电吸附 + 真空吸附和其他方法
定位 二元法 + 多值图像处理映像 + 发射光 二元法 + 多值图像处理发射照明
舱室结构 通过分开的上/下舱室打开 通过闸阀(维修时可以分开)打开
定位精度 ±1μmm
可选项 真空压力控制功能 局部基片可用性、真空压力控制、CIM、偏差反馈功能
  • *本产品受出口控制,仅限于交付给某些国家和地区。 有关详情,请在装运前与我们联系。

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